| ¼¼Êõ¹æ¸ñ: 
 
	²úÆ·ÌØµã£º
		
			
				| 
						ÏîÄ¿ 
					 | 
						Ö¸±ê²ÎÊý 
					 |  
				| 
						ÐÍ ºÅ 
					 | 
						DK-Al2O3-A30 
					 | 
						DK-Al2O3-A3 
					 | 
						DK-Al2O3-A5 
					 | 
						DK-Al2O3-A10 
					 |  
				| 
						Íâ ¹Û 
					 | 
						°×É«·ÛÄ© 
					 | 
						°×É«·ÛÄ© 
					 | 
						°×É«·ÛÄ© 
					 | 
						°×É«·ÛÄ© 
					 |  
				| 
						¾§ ÐÍ 
					 | 
						¦ÁÏà 
					 | 
						¦ÁÏà 
					 | 
						¦ÁÏà 
					 | 
						¦ÁÏà 
					 |  
				| 
						º¬ Á¿©‡  
					 | 
						99.99 
					 | 
						99.99 
					 | 
						99.99 
					 | 
						99.9 
					 |  
				| 
						Á£¾¶    
					 | 
						30nm 
					 | 
						0.3um 
					 | 
						0.5um 
					 | 
						 1um 
					 |  
		
	 
 
	ÄÉÃ×Ñõ»¯ÂÁÅ×¹â·ÛΪ¸ß´¿¶È°×É«·ÛÄ©£¬ÊDz£Á§¡¢Ë®×ꡢˮ¾§¡¢½ðÊô¡¢¸÷ÖÖʯ²ÄϵÁо«Å×ÄÉÃײÄÁÏ¡£¸Ã²úÆ·¾ßÓÐÒÔÏÂÓÅÔ½ÐÔÄÜ£º 
 
	1¡¢¾§ÏàÎȶ¨¡¢Ó²¶È¸ß¡¢¿ÅÁ£Ð¡ÇÒ·Ö²¼¾ùÔÈ£» 
 
	2¡¢Ä¥Ï÷Á¦Ç¿¡¢Å×¹â¿ì¡¢¹â¶ÈÁÁ¡¢¾µÃæÐ§¹ûºÃ£» 
 
	3¡¢ÑÐĥЧÂʸߣ¬Å×¹âЧ¹ûºÃ£¬ÑÐĥЧÂÊÔ¶Ô¶¸ßÓÚ¶þÑõ»¯¹èµÈÈíÖÊÄ¥ÁÏ£¬±íÃæ¹â½à¶ÈÓÅÓڰ׸ÕÓñµÄÅ×¹âЧ¹û£¬ÇÐÏ÷Á¦Ç¿¡¢³ö¹â¿ì¡¢ÄÜÅ׳ö¾ùÔȶøÃ÷ÁÁµÄÐËÔó¡£ 
 
	
 
	Ó¦Ó÷¶Î§£º 
 
	1¡¢ÈËÔ챦ʯ¡¢ï¯Ê¯¡¢²£Á§¡¢ÌìÈ»±¦Ê¯¡¢Óñʯ¡¢ôä´ä¡¢Âêè§¡¢µÈÕñ¶¯Å׹⣨»úÆ÷Å׹⡢¹ö¶¯Å׹⣩¡¢ÊÖ¶¯Å׹⣨ÑÐÄ¥Å׹⣩µÈ¡£ 
 
	2¡¢ÂÁ²Ä¡¢Í²Ä¡¢²»Ðâ¸Ö¡¢Ê¯²Ä¡¢²£Á§¡¢Ç½µØ×©µÈÑÐÄ¥Å׹⡣ 
 
	3¡¢½ðÊô±íÃæÅ׹⡣ 
 
	4¡¢Å×¹âÌõ¡¢Å׹⽬¡¢ÓÍÆá±íÃæ¡¢ÑÇ¿ËÁ¦¡¢²»Ðâ¸Ö¾µÃæ¡¢·ÇÌú½ðÊô¡¢Óñʯ£¬´óÀíʯ¡¢»¨¸ÔÑÒ¡¢Ë®¾§¡¢¹âѧ²£Á§µÄ±íÃæÅ׹⡣ 
 
	5¡¢Æû³µÓÍÆá´òÄ¥Å׹⣬ÊÖ»úÍâ¿ÇÓÍÆáÅ×¹âµÈ¡£ 
 
	
 
	
 
	ÍÆ¼öÓÃÁ¿£ºÎª1¡«20£¥£¬ 
 |