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氮化钽 |
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氮化钽
分子量:194.9
颜 色:灰 色
氮含量:≥6.8%
密 度:13.4g/m3
熔 点:3090℃
显微硬度:3200kg/mm2
产品概述:
氮化钽(TaN)具有优越的物理、化学及机械性能(如高硬度、耐磨、化学惰性、热稳定性以及低的电阻温度系数),广泛应用于耐磨涂层、薄膜电阻以及集成电路中的扩散势垒等领域。
性能特点:纯度高,XRD检测无杂质相。
技术参数
平均粒度:0.5-1um
纯度:>99%
O:≤1.0%
H:≤0.001%
C:≤0.01%
N:≤6.5-7.2%
可根据客户需求进行定制化生产
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